传感器与微系统

自动化技术论文_基于Fabry-Perot干涉的高温温

 
文章目录

1 引言

2 光纤F-P传感器原理

2.1 光纤F-P传感器基本结构

    2.1.1 IFPI传感器典型结构

    2.1.2 EFPI传感器典型结构

    2.1.3 膜片式EFPI传感器结构

2.2 多光束干涉理论

2.3 F-P传感理论

    2.3.1 F-P温度传感理论

    2.3.2 F-P压力传感理论

    2.3.3 F-P应变传感理论

    2.3.4 F-P振动传感理论

3 高温光纤F-P传感器研究进展

3.1 高温光纤F-P温度传感器

3.2 高温光纤F-P压力传感器

3.3 高温光纤F-P应变传感器

3.4 高温光纤F-P振动传感器

    3.4.1 光纤F-P声学传感器

    3.4.2 光纤F-P加速度传感器

3.5 光纤F-P复合传感器

    3.5.1 光纤F-P温度/压力复合传感器

    3.5.2 光纤F-P温度/应变复合传感器

    3.5.3 光纤F-P温度/振动复合传感器

4 总结与展望

文章摘要:光纤F-P传感器是光纤传感的重要分支,具有检测精度高、测量动态范围大、本征防爆等优点,在工业领域已经得到了广泛的研究和应用。对于超过1 000℃的高温恶劣环境,普通电类传感器已经无法满足应用需求。近年来,许多专家学者投身于耐高温光纤F-P传感器的研制,通过不断地优化、改进传感器的结构、制备工艺以及选用新型耐高温材料,得到了诸多结构新颖、性能优良的耐高温传感器。从F-P腔的干涉原理出发,介绍了光纤F-P传感器的感知机理,分别综述了光纤F-P温度、压力、应变、振动以及复合型传感器的研究进展,并分析了当前研究所面临的难题和挑战。最后对光纤F-P传感器的发展现状进行总结,并对其未来发展趋势进行展望。

文章关键词:

论文DOI:10.19519/j.cnki.1672-3392.2022.01.003

论文分类号:TP212